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探针（带有弹簧及外引线）之间或探针系统其他部分之间的绝缘电照至少为10.探针排列和间距，四探针应以等距离直线排列，探针阀距及针突状况应符合GB/T552中的规定。电导率：510-6～1108ms/cm测量精度（0.1%读数）电流换向开关GB/T6617-2009硅片电阻率测定扩展电阻探针法本仪器配置各类
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