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半导体制造设备通风性能测量系统六氟化硫概述随着能量效率的提高，以及排气通风设施的物理限制变得更加明显，半导体设备的排气通风的优化变得越来越重要。设备的排气通风设计不合理，可能会造成操作人员的伤亡，引起设备乃至整个工厂的烧毁。半导体行业需要测量机台通风效率，满足SEMIS6Ventil
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