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URE-2000系列紫外光刻机型号：URE-2000/35简单介绍：光刻机：(英文名：MaskALIGENER)又名曝光机,该型号光刻机创新采用三柔性支点实现高精度自动调平；真空接触自动曝光；样片升降、调平、接触、曝光、复位实现自动化控制；采用专利技术积木错位蝇眼透镜实现高均匀照明；可连续设定分离间隙；采用双目双视场显微镜实现高对准
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