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真空感应加热蒸发镀膜设备(IGBT):在卷绕式真空镀膜设备中,镀层蒸发传统工艺一般采用电阻式蒸发舟加热方式,这种传统的加热方式存在着蒸发面积小、蒸发不均匀、蒸发材料种类单一,加热过程中易飞濺等许多缺陷
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