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FSF-100/120复合分子泵

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商品信息
FSF-100/120复合分子泵



应用领域:
光学玻璃镀膜工业;薄膜工艺;真空冶金;照明工业排气
型号:
FSF-100/120
规格:
FSF-100/120

 

FSF-100/120列分子泵技术参数表

型号
FSF-100/120
抽气速率(l/s)
120
压缩比
N2:108
     H2:5×102
极限压强(Pa)
LF:≤6×10-8
CF:≤6×10-7
电机转速(n/min)
24000
启动时间(min)
<2
轴承
陶瓷轴承
排气口法兰
KF25
进气口法兰
LF100/CF100
最小不平衡量(mg)
15
建议前级泵(L/s)
2
冷却方式
水冷+风冷
冷却水温度(℃)
<20
环境温度(℃)
风冷<32水冷<40
泵体烘烤温度(℃)
≤100
充油量(ml)
12
安装方式
竖直±5°
重量(kg)
8.5