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管式电阻炉 20000

应用领域

RGDL系列真空气氛管式炉广泛用于高、中、低温CVD工艺，例如：碳纳米管的研制，试验用碳纤维碳化、晶体硅板镀膜、纳米氧化锌结构可控生长等等，也可用于金属材料的扩散焊接及真空或气氛保护下的热处理。

主要特点

采用精炼石英管或高纯高于管作为炉膛，可拆卸的密封方式，具有良好的洁净度和真空度，耐火保温材料全部采用先进的轻质纤维制品，整机质量轻、低能耗。加热元件采用优质硅钼棒、硅碳棒或进口电阻丝；温度控制系统采用原装进口智能多段程序温度控制仪控制，具有良好的稳定性、均匀性。

技术指标

设备型号	RGDL(D) 2/80/44	RGDL(Z) 1/60/30	RGDL(G) 3/60/60	RGDL(D) 1/50/70	RGDL(Z) 2/30/60	RGDL(G) 1/50/80
温区个数	2	1	3	1	2	1
最高温度	1100℃	1400℃	1650℃	1200℃	1400℃	1650℃
加热区长度	440mm	300 mm	600 mm	500 mm	600 mm	500 mm
炉管尺寸及材料	Φ80石英管	Φ60刚玉管	Φ60刚玉管	Φ70石英管	Φ60高纯刚玉管	Φ80高纯刚玉管
装机功率	5kw	8kw	18kw	8kw	10kw	12kw
备注：RGDL系列管式炉全部可以按照客户要求通入各种惰性、还原性、反应性气体，通过浮子流量计或质量流量计控制气体通入量。同时还可以通过单机机械泵或真空机组预抽真空，系统具备冷态极限真空6.67×10﹣² Pa 。