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压电纳米定位台 超大行程2000μm 压电平台 压电平移台

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商品信息
压电纳米定位台 超大行程2000μm 压电平台 压电平移台 首选研生 中国制造 技术领先
二维纳米级精密 压电纳米定位台 超大行程2000μm 压电平台 压电平移台 ║P15系列
 
 
P15系列是采用压电陶瓷驱动的二维纳米级精密定位压电纳米定位台,压电平台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构,压电平移台采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,复合式的柔性导向系统具有超高的导向精度、有效消除侧向运动分量,同时具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。压电平移台超大行程2000μm,压电纳米定位台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了压电纳米定位台具有极佳的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。压电平台为无磁材质,使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。
 
产品特点:
◆ 采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统,有效消除侧向运动分量;
◆ 内置高性能的压电陶瓷,高可靠性;
◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择。
 
产品应用:
显微光学 • 半导体测试 • 干涉测量 • 纳米定位 • 生物技术 • 微加工 • 微操作