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压电纳米定位_压电扫描台_压电定位台_****研生-中国制造

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商品信息

压电纳米定位_压电扫描台_压电定位台_首选研生-中国制造 技术领先

 

Z向纳米级精密 压电扫描台 压电纳米定位台 ║P52系列

 
P52系列是采用压电陶瓷驱动的Z向纳米级精密压电纳米定位台,压电扫描台内部使用无摩擦、无回差的柔性铰链导向结构,压电定位台采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点,压电平台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈,确保了压电纳米定位台具有极佳的运动控制精度,定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。中空式超薄设计,且中央通孔较大,可更好的集成于显微及扫描系统中。
 
产品特点:
◆ 超薄的外形尺寸,超大的中空尺寸;
◆ 采用无摩擦高精度柔性铰链导向系统;
◆ 内置高性能的压电陶瓷,高可靠性;
◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择。
 
产品应用:
扫描显微镜 • 掩膜/晶圆定位 • 计量学 • 半导体测试 • 干涉测量 • 纳米定位 • 生物技术 • 微操作