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单晶硅电极，电极材料在世界上广泛采用无与伦比额跟踪记录，避免重金属污染的风险与超粒子的特征
直流脉冲广泛的中和能力
离子的产生和长期平衡，更稳定，全数字电路控制
通过安装（可选），而不是在身体负离子酒吧，如果在（5200-简是不相连的离子平衡的目标电离附件，内部传感器身体负离子酒吧外部传感器的目标电离附件5200-简可能反馈控制自动调整离子平衡）
半导体前端进程杆长度设置EFEM
输出离子的产生，离子的产生时间，报警阀值，如各种参数，可以在较大范围内设置，它可以支持灵活的环境，如气流，是软弱和长途应用
只有数值的输入参数，可以在很短的时间内，可以得到高重复性
除了简单报警IO，有助于了解实时过程监控设备的状态是通过使用DLL，可以免费提供
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