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●该设备可选配电阻、电子束或电阻电子束复合镀膜系统,过流部件均采用SUS304制造,真空系统后置,标准配置分子泵系统,标配工业级人机界面和西门子PLC系统,手动和自动模式自由切换,能够满足工业客户小批量生产和科研院所客户科研实验的需求。该系列设备不提供全手动操作控制系统。
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光学器件、光电设备、电子设备 |
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