成都真空设备厂家 surpass大口径干法刻蚀机装备大口径高均匀性特殊微纳结构基片刻蚀可定制-成都汉普升科技有限公司-北极星电力商务通

当前位置：首页 >热门产品> 电力仪器仪表 > 测试（实验）仪器 >成都真空设备厂家 surpass大口径干法刻蚀机装备大口径高均匀性特殊微纳结构基片刻蚀可定制

收藏产品

联系人：胡先生 (来电时请说是从北极星看到我的)

手机：13683458179

电话： 028-88423503

地址：四川省成都经济技术开发区（龙泉驿）车城西二路288号派瑞国际4栋5楼

●Surpass系列干法刻蚀机，特别适合于大口径、高均匀性和有特殊微纳结构的基片刻蚀，刻蚀尺寸可达φ2500mm，通过高密度等离子体及离子浓度修正系统，可达到基片有效刻蚀区域内均匀性较高的技术指标，满足大口径基片刻蚀的需求。