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高纯(电子级)蒸汽式双氧水试剂精馏装置技术参数:1、生产装置和规模:100吨/a2、加热方式:蒸汽式3、吨耗汽:0.9~1吨4、产品质量:CMOS-CMOS-Ⅱ,单项离子含量10~50ppb;1~1
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