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固态钯合金薄膜传感器采用Pd-Ni合金等材料制成一种新型的敏感薄膜，基于钯对氢气的专一性催化原理，当检测环境中存在氢气时，H2分子被催化成H原子，吸附在Pd-Ni合金的晶格中，引发电阻或电容变化，再通过配套电路将电阻或电容的变化量转化成氢气浓度，从而实现氢气测量。同时，传感器芯片集成了加热器
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