多晶硅还原炉红外线卤素加热灯管

多晶硅还原炉卤素加热灯管，多晶硅还原炉红外线加热灯管，还原炉硅芯预热灯管 多晶硅还原炉电气系统的主要设备是大功率调压器。调压器所带负载是多晶硅棒串联而成的纯电阻负载。调压器的作用实际上是对负载电阻进行电加热，并且保持硅棒表面温度恒定（一般1080℃）。硅棒串联而成的电阻是一个变化的电

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