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压电扫描台压电扫描台中心具有通孔,台体集成高精度传感器,采用柔性铰链设计、无机械摩擦、分辨率高。产品主要应用于透光精密光学器件的定位,生物显微与显微成像系统。压电扫描台包括一维、二维、三维三种运动形式,最大运动范围可达370m。P-78压电扫描台,采用一体式设计,柔性铰链机构
■产品描述二维XY轴PK2L100-150U/300U系列压电纳米定位台,内置高性能压电陶瓷作为驱动元件,采用SGS传感器闭环,实现精密高速定位运动,产品结构紧凑,易于集成,采用分离式结构设计,减小了两自由度之间的耦合,采用高可靠性的压电陶瓷驱动,具有较高的重复定位精度和纳米级位移分辨率,机体材料