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探针夹具是连接探针与测试系统的关键机械装置,直接影响半导体测试的精度与可靠性。 一、核心定义与功能 探针夹具是固定在探针座(针座)上的机械组件,用于固定探针并引出信号至测试仪器。其核心功能包括: 机械固定:通过螺旋、弹簧或管状结构稳定夹持探针,避免测试过程中的偏移或脱落。 信 |
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探针座(Probe Holder)是半导体测试中实现探针-芯片电气连接的关键执行单元,探针座不仅是连接探针与芯片的机械装置,更是半导体产业质量管控、技术创新与成本优化的核心枢纽 三维精密定位与操控 作用:通过微米级精度(0.5m~5m)的X/Y/Z轴运动,将探针精准对准芯片测试点(如Pad、Bonding Finger |
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自动探针台是半导体测试领域的关键设备,通过高度自动化与精密控制技术,显著提升了晶圆级测试的效率与精度。 一、核心功能与技术优势 自动化与高精度定位 晶圆装卸:支持4-12英寸晶圆,配备1个载片盒(25-26个片槽),可编程双向加载,实现快速单片晶圆手动上下片,并具备防晶圆交叉保护功能。 |
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探针座(Probe Holder)是探针台系统中的关键组件,用于固定、定位和操控探针,实现与芯片测试点的高精度接触与稳定电学连接。其核心价值在于: 机械稳定性:确保探针在微米级尺度下精准对准,避免接触偏移。 电气可靠性:通过低阻抗、低噪声设计,保障测试信号的完整性。 环境适应性:支持真空、变 |
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半导体探针台是半导体行业用于电气测试的核心设备,通过微型探针与芯片测试点接触,实现电信号传输和测量,贯穿研发、制造及测试全流程。 一、核心功能 电气性能测试:对集成电路(IC)、分立器件等进行精密电气测量,确保器件质量与可靠性,降低制造成本。 晶圆级测试:在晶圆制造环节检测各芯片 |
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常规探针台是半导体及微纳器件测试的基础设备,通过机械定位系统将探针与样品表面精确接触,实现电学参数(如电流、电压、电容)的微区测量。其核心价值在于非破坏性、快速表征,广泛应用于晶圆级测试、器件失效分析、材料电学性能评估等场景。 二、技术架构与关键模块 机械定位系统 三维位移平台 |
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真空高低温探针台是一种集成真空环境控制、高低温调节与微纳电学测试功能的高端实验设备,广泛应用于半导体、材料科学、量子计算等领域,其核心价值在于通过极端环境模拟实现材料或器件的电学性能精准表征。 一、技术原理与核心功能 真空环境控制 功能:通过机械泵与分子泵组合实现10⁻⁴至10⁻⁷ |
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微型探针台是一种高精度、小尺寸的测试设备,主要用于微纳尺度下对半导体器件、芯片、材料等进行电学性能测试和失效分析。它在半导体研发、材料科学、微电子制造等领域具有重要作用。 一、核心功能 电学性能测试 微型探针台通过精密探针与芯片或材料表面接触,实现微小区域的电流-电压(I-V)、电 |
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双面探针台是一种用于半导体、光电等领域的精密测试设备,主要有以下作用和意义: 作用 实现双面测试:能从被测器件的顶部和底部同时进行探测,满足一些特殊结构器件或测试场景的需求。例如,对于具有背接触结构的芯片、晶圆,或者需要在器件两面施加不同信号进行测试的情况,双面探针台可以通过顶部 |
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探针台是一种用于半导体器件测试和研究的重要设备,主要作用和意义如下: 作用 提供电气连接:通过探针与半导体器件的电极或引脚进行精确接触,建立起电气连接,使测试仪器能够对器件施加各种电信号,如电压、电流等,并测量器件的响应,如电阻、电容、电流 - 电压特性等,从而实现对半导体器件性能 |
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非真空高低温探针台是一种无需真空环境即可实现宽温域测试的精密设备,适用于对氧化不敏感的半导体材料及器件测试,在实验室研发和小批量生产中具有显著优势。 一、技术特点 宽温域覆盖 温度范围通常为-196℃(液氮温度)至300℃或更高,部分高端型号可覆盖-60℃至500℃,满足不同材料和器件对极 |
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探针台是半导体、材料及器件研发领域的关键设备,通过高精度定位与电学测试能力,在实验室与小批量生产中发挥核心作用。以下从核心功能、应用场景、技术优势及选型要点展开分析: 一、核心功能 高精度定位与微纳操作 亚微米级定位:通过精密导轨与微米级步进电机(如1m分辨率),实现探针与晶圆上 |
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腔体 样品台尺寸:1.5英寸 样品固定方式:弹簧压片 观察窗口:2英寸 真空度:10-3torr(机械泵)/10-6torr(分子泵) 探针臂接口:最多6个探针臂接口 其它接口:多6个探针臂接口 制冷方式:电信号接口、真空接口、控温接口液氨 控温方式:温控器 温度范围:77K-473K/573K/873K/ 温度分辦率: |
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高低温探针台与半导体真空探针台在半导体器件及材料测试中发挥关键作用,二者结合可提供真空与宽温域环境下的精密电学测试能力。以下从技术特点、应用场景、优势及选型要点展开分析: 一、技术特点 温度控制 宽温域覆盖:支持-196℃(液氮温度)至870K(约597℃)甚至更高温度,满足不同材料/器件 |
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光电子探针台是半导体、光电测试领域的关键设备,具备高精度定位、多场景适配及自动化集成能力。 光电子探针台在光电器件研发、材料性能分析、生物医学研究等领域具有广泛应用,其核心优势体现在高精度测试、多环境适配及高效自动化能力上,以下为具体分析: 应用场景 半导体与光电芯片测试 LE |
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光电子探针台是半导体、光电测试领域的关键设备,具备高精度定位、多场景适配及自动化集成能力。 一、核心功能与特性 高精度定位与微纳操作 定位精度:采用亚微米级定位系统(如0.01m定位精度、0.01角度控制),确保探针与晶圆上微小器件(如量子点、纳米线)的精准接触,减少测试误差。 探针控 |
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4英寸探针台是专为4英寸晶圆测试设计的手动或半自动设备,在半导体、材料及器件研发领域应用广泛。 一、核心功能 测试能力:可执行IV/CV测试、RF测试、光电测试等,适用于晶圆、芯片、LED、场效应晶体管、IGBT、分立器件等样品的电学性能评估。 温度控制:测试温度范围覆盖室温至300℃,支持高温 |
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高温探针台是一种能够在极端高温环境下对样品进行精确测试和测量的实验设备,结合了高温加热技术、精密定位技术和先进的测量技术, 一、技术原理与核心功能 高温环境控制 加热系统:采用电热丝、电阻炉或激光加热技术,可实现高温(最高达1000℃)甚至超高温(如1600℃)环境,满足金属合金、陶瓷 |
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真空闭循环高低温探针台是一种集成真空环境、闭循环温控及精密探针测试功能的高端设备,广泛应用于半导体、材料科学及量子技术领域。 一、核心功能与技术特性 真空闭循环系统 真空度:系统极限真空优于510⁻⁶Pa,漏率110⁻¹⁰Pam³/s,有效隔绝空气、水汽等干扰因素,避免测试过程中氧 |
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微型盒式真空高低温探针台是一种集成化测试设备,专为半导体、材料科学及微纳器件研发设计,可在真空及极端温度条件下实现高精度电学性能测试。 一、核心功能与结构特点 真空环境控制 通过机械泵与分子泵组合,实现高真空度(510⁻³Pa),有效抑制氧化、热噪声及空气干扰,确保测试数据准确 |
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