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一、产品参数：型号SP-205ASC检知方式热线型半导体式检知气体磷烷（PH3）砷烷（AsH3）二硼烷（B2H6）硅烷（SiH4）氢气（H2）检知可能（泄露量）1.510-61.010-60.510-62.510-65.010-6检知可能浓度0.3ppm0.2ppm0.1ppm0.5ppm1.
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