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●该机组能满足多种制程工艺的真空要求，抽速：70-5000L/S，极限真空度可达200Pa至6.67X10-2Pa，通过PLC+人机界面，可根据工艺制程设定真空度与时间参数，根据真空度实际需求可自动启动不同的工作模式，能够显著降低设备能耗，系统过流部件可进行防腐处理，选配防爆电机和控制单元能抽出易燃易爆、
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