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产品介绍: |
高纯氩气纯化设备 一、 概述 氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气体,为了提高硅晶体的质量,如何选用较高纯度的氩气,是制作硅晶体的一个议题。通过对本装置的使用,氩气的纯度其中氧含量小于1ppm时,水分也小于1ppm时,制作出的单晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm,这样就提高了单晶的使用寿 |
供 应 商: | 苏州瑞泽气体净化设备有限公司 [江苏] |
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