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一、技术要求检漏仪最小可检漏率：110-9Pa.m3/s；检漏仪漏率显示范围：110-3～110-9Pa.m3/s；产品检测漏率值：≦1.010-6m3/s最高充氮压力：0.6MPa；最高充氦压力：2.0MPa；氦气回收率：95％；真空箱内极限真空度：20Pa；真空箱尺寸（内部长宽高）：约185升；真空箱数量：1箱真空
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