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产品介绍普洛帝表面颗粒物检测仪P-III通过以下技术实现电子半导体行业表面污染的量化监测和控制:核心技术原理界面颗粒再悬浮技术:采用先进界面技术,通过物理或气流方式将附着在关键表面的颗粒重新悬浮,便于后续检测。高精度光学检测:基于激光光学传感器和光散射原理,实时捕获悬浮粒
产品参数测量粒径A0.3um、2.5um、10um;B0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um;C0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um;D0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um;E0,5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um;F0.1m,0.2m,0.3m,0.5m,1.0m,5.0m;1、
产品介绍P-III的表面粒子检测器系列通过以下技术实现电子半导体行业表面污染的量化监测和控制:核心技术原理界面颗粒再悬浮技术:采用先进界面技术,通过物理或气流方式将附着在关键表面的颗粒重新悬浮,便于后续检测。高精度光学检测:基于激光光学传感器和光散射原理,实时捕获悬浮粒子的