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半导体制造设备通风性能测量系统六氟化硫 概述 随着能量效率的提高,以及排气通风设施的物理限制变得更加明显,半导体设备的排气通风的优化变得越来越重要。设备的排气通风设计不合理,可能会造成操作人员的伤亡,引起设备乃至整个工厂的烧毁。 半导体行业需要测量机台通风效率,满足SEMI S6 Ventil |
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DKG-GAT210 示踪气体法通风效率气密性监测系统 检测方案 高灵敏度的光声光谱气体检测系统,是一套用于在线实时测量示踪气体浓度变化,从而评估通风效率的准确、可靠、高效的解决方案。 光声光谱气体分析仪可以同时检测最多9种气体和水汽,检测气体种类是从一个超过300种的气体数据库中由用户选择。 |
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简述 随着现代化和城市化进程的日益加深,人们在室内的时间越来越多,因而对室内空气品质的要求也日益提高。 室内空气品质取决于很多方面,包括温湿度、二氧化碳、挥发性有机化合物的浓度等。而用于调节和改善室内空气品质的有效方式之一就是通风系统。 通风包括自然通风和机械通风,评价通风系统 |
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