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KRI霍尔离子源eH3000上海伯东代理美国原装进口KRI霍尔离子源eH3000适合大型真空系统,与友厂大功率离子源对比,eH3000是目前市场上高效,提供更高离子束流的离子源.尺寸:直径=9.7高=6放电电压/电流:50-300V/20A操作气体:Ar,Xe,Kr,O2,N2,有机前体KRI霍尔离子源eH
价格货期电议上海伯东代理美国原装进口KRI霍尔离子源eH400低成本设计提供高离子电流,霍尔离子源eH400尺寸和离子能量特别适合中小型的真空系统,可以控制较低的离子能量,通常应用于离子辅助镀膜,预清洗和低能量离子蚀刻.尺寸:直径=3.7高=3放电电压/电流:50-300eV/5a操作气体:
价格货期电议上海伯东代理美国原装进口KRI霍尔离子源eH1000高效气体利用,低成本设计提供高离子电流,特别适合中型真空系统.通常应用于离子辅助镀膜,预清洗和低能量离子蚀刻.尺寸:直径=5.7高=5.5放电电压/电流:50-300V/10A操作气体:Ar,Xe,Kr,O2,N2,有机前体KRI霍尔离
KRI线性霍尔离子源eHLinear上海伯东代理美国原装进口KRI线性离子源使用eH400做为模组,能应用于宽范围的衬底,离子源长度高达1米,通过严格调整模组间的距离可以实现更佳的均匀性和离子流.由于模组是平行放置,大大简化了气体,功率和电子三者的分布.KRI线性离子源使用标准的端部