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大流量气体比例阀的特点比例阀具有非常低的迟滞性流量的变化与控制信号成比例关系电磁阀不需要最小操作压差可用于真空应用低功耗,产生更少的热量符合CE、Rohs标准大流量气体比例阀的应用生物工程,气体流量控制(发酵罐里面氧气量的控制)半导体制程,不同气体的流量控制
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