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一、产品简介 热解氮化硼(PBN)属于六方晶系,为先进陶瓷材料,纯度可以达到99.999%,耐酸碱,抗氧化,导热性好,致密,可加工。它在高温、高真空条件下,由氨和硼的卤化物进行化学气相沉积(CVD)而成,既可以制备PBN板材,也可以直接制备坩埚,舟,涂层等PBN最终产品。 二、主要特点
【北京】 北京博宇半导体工艺器皿技术有限公司