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分子泵是一种高真空获得设备(真空度可高达10-8Pa),其具有真空度高、抽速大、无油洁净等优点,广泛应用于电子、化工、离子刻蚀、光盘制造、半导体、太阳能、真空炉、镀膜、制灯等工业企业和教学、科研事
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