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适带有气体采样流量自动控制功能LCD显示，现场状态一目了然实现小型、轻量化可简单地更换传感器和采样气路带有防止传感器单元错误插入的功能可以设定多样的维护模式组合对应热分解单元与定电位电解式传感器，能检测NF3等实现了用PDA读取数据符合CE规格，SEMI规格技术参数型号PS-7标准型附带转换器组件型检测原理定电位电解
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