Aera FC-DR980C 氧气质量流量计 氮气质量流量计 气体质量流量控制器 Aera创建于美国，是一家提供流体测量和控制产品及全套解决方案的跨国高科技企业， 拥有研发及运营团队，掌握流体测量及控制技术，专注于高科技工业领域的广泛应用， 包括半导体、新能源、 新材料，平板显示、数据存储、工业镀

Aera FC-R7700 氮气质量流量计 氩气质量流量计 气体质量流量控制器 Aera创建于美国，是一家提供流体测量和控制产品及全套解决方案的跨国高科技企业，拥有研发及运营团队，掌握行业先进的流体测量及控制技术，专注于高科技工业领域的广泛应用，包括半导体、新能源、 新材料，平板显示、数据存储、工

Aera FC-R7800 氨气质量流量计 硅烷质量流量计 气体质量流量控制器 Aera 创建于美国，是一家提供流体测量和控制产品及全套解决方案的跨国高科技企业，拥有研发及运营团队，掌握行业先进的流体测量及控制技术，专注于高科技工业领域的广泛应用，包括半导体、新能源、 新材料，平板显示、数据存

高温气体质量流量控制器 型号：MC-DG910HT 这款产品流体经过部分采用全金属密封，控制部分和过流部分分开设计， 介质工作温度可达120℃ 在半导体、镀膜、太阳能多晶硅制程中有广泛的应用 相关参数如下： 传输速度：9.6KBaud - 38.4KBaud 支持15VDC或＋24VDC供电使用 适用原厂RS485 ASCII通讯

甲烷流量计 甲烷流量控制器 甲烷质量流量计 AEORHC 气体质量流量控制器 规格 4800 系列 Full Scale Range (N2 Eqv) 单气体2-5000sccm Control Valve Type 阀门类型 常闭式螺线管

氨气流量计 氨气流量控制器 氨气质量流量计 AEORHC 气体质量流量控制器 规格 4800 系列 Full Scale Range (N2 Eqv) 单气体2-5000sccm Control Valve Type 阀门类型 常闭式螺线管

MFC 二氧化碳流量计 二氧化碳流量控制器 二氧化碳质量流量计 AEORHC 气体质量流量控制器 规格 4800 系列 Full Scale Range (N2 Eqv) 单气体2-5000sccm Control Valve Type 阀门类型 常闭式螺

氯气质量流量计 氯气流量计 氯气质量流量控制器 金属密封气体质量流量计 AEORHC 气体质量流量控制器 规格 4800 系列 Full Scale Range (N2 Eqv) 单气体2-5000sccm Control Valve Type 阀门类型

小流量流量计 小型质量流量计 微小质量流量计 AEORHC 气体质量流量控制器 规格 4800 系列 Full Scale Range (N2 Eqv) 单气体2-5000sccm Control Valve Type 阀门类型 常闭式螺线管

氩气质量流量计 二氧化碳质量流量计 MC-AN600C 英国WARWICK AEORHC 气体质量流量控制器 规格 4800 系列 Full Scale Range (N2 Eqv) 单气体2-5000sccm Control Valve Type 阀门类型 常闭式螺线

大流量不锈钢比例阀的特点 比例阀具有非常低的迟滞性 流量的变化与控制信号成比例关系 电磁阀不需要最小操作压差 可用于真空应用 低功耗，产生更少的热量 符合CE、Rohs 标准 大流量不锈钢比例阀的应用 生物工程,气体流量控制（发酵罐里面氧气量的控制） 半导体制程，不同气体的流量

大流量气体比例阀的特点 比例阀具有非常低的迟滞性 流量的变化与控制信号成比例关系 电磁阀不需要最小操作压差 可用于真空应用 低功耗，产生更少的热量 符合CE、Rohs 标准 大流量气体比例阀的应用 生物工程,气体流量控制（发酵罐里面氧气量的控制） 半导体制程，不同气体的流量控制

微流量比例阀 品牌：AEORHC 型号：8005 流量：25mL/Min （0.1Mpa) 用于单电源的高性能比例阀，超小型尺寸，重量轻 耗电低（-2W） -► （Max. 2W） 特制的阀芯材料磁力高、磁滞水平低 采用蝶形弹簧，确保介质的流量稳定 符合Rohs标准RoHS *1定制型号。请另行洽谈。 *2 PWM=脉冲宽度调制

微量比例阀 品牌：AEORHC 型号：8005 流量：25mL/Min （0.1Mpa) 用于单电源的高性能比例阀，超小型尺寸，重量轻 耗电低（-2W） -► （Max. 2W） 特制的阀芯材料磁力高、磁滞水平低 采用蝶形弹簧，确保介质的流量稳定 符合Rohs标准RoHS *1定制型号。请另行洽谈。 *2 PWM=脉冲宽度调制 *3

小流量比例阀 品牌：AEORHC 型号：8005 流量：25mL/Min （0.1Mpa) 用于单电源的高性能比例阀，超小型尺寸，重量轻 耗电低（-2W） -► （Max. 2W） 特制的阀芯材料磁力高、磁滞水平低 采用蝶形弹簧，确保介质的流量稳定 符合Rohs标准RoHS *1定制型号。请另行洽谈。 *2 PWM=脉冲宽度调制

微型比例阀 小流量比例阀 小型比例阀 电气比例阀 品牌：AEORHC 型号：8020 流量：1000mL/Min 用于单电源的高性能比例阀，超小型尺寸，重量轻 耗电低（-2W） -► （Max. 2W） 特制的阀芯材料磁力高、磁滞水平低 采用蝶形弹簧，确保介质的流量稳定 符合Rohs标准RoHS *1定制型号。请另行洽谈。

比例阀 比例电磁阀 比例流量阀 电气比例阀 品牌：AEORHC 型号：8020 流量：1000mL/Min 用于单电源的高性能比例阀，超小型尺寸，重量轻 耗电低（-2W） -► （Max. 2W） 特制的阀芯材料磁力高、磁滞水平低 采用蝶形弹簧，确保介质的流量稳定 符合Rohs标准RoHS *1定制型号。请另行洽谈。

微量质量流量计 蒸汽质量流量计 德国 RHEONIK RHM015L RHM 015 质量流量计传感器 标准量程 0.0015 ~ 0.6 kg/min Z高压力 1592 bar / 23090 psi

节能增效真空装置的优点： 1）原真空设备主要用作汽轮机启动时建立真空，正常运行中，采用节能增效真空装置达到节能目的 2）常规水环泵或喷射泵效率低下，本技术应用的高性能气冷罗茨真空机组效率高达70%以上； 3）所抽吸的气体包括不凝气体（空气）及可凝气体（水蒸汽），通过减少真空泵压缩气体