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空气分子污染（AMC）监测
| 产品介绍： |
光刻工艺洁净室内痕量级NH3,HCL,HF等气体的超高灵敏度、实时测量 实践证明深紫外光刻工艺深受多种类微量污染物的影响，对很多微量污染物极为敏感，比如氨气或者酸性气体都会给半导体生产带来极大的危害，尽管随着深紫外耐腐蚀材料技术的发展，已经减少了长时间持续实时监测，而实际上空气分子污染（ |
| 供 应 商： | 北京杜克泰克科技有限公司 [北京] |
猎户座 3100S AMC空气分子污染物监测系统
| 产品介绍： |
概述： 空气分子污染物 (AMC) 对于高科技生产过程是关键性因素，特别是微电子行业，有机污染物是生产过程中的消极因素，会导致高科技公司因产品质量问题而产生的成本增加。无空气分子污染物生产是理想的生产目标，通过污染物源头控制、传播控制，实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来 |
| 供 应 商： | 北京杜克泰克科技有限公司 [北京] |
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