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氦质谱检漏仪

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商品信息
INFICON氦质谱检漏仪 UL1000氦检漏仪 INFICON UL1000 型氦检漏仪尤其适用于元件精确检漏的要求,灵活性测试,高灵敏度,快速于精确的结果,快速启动,移动性和系统的可靠性。 UL1000符合做微电子工业市场的要求。其特点从坚固的金属外壳并带有适用于洁净室的轮子,至1-CAL*,无与伦比的、用于消除在10-11至10-12超高灵敏漏率范围中长平衡时间的程序。 系统软件包含带有故障查找指令的先进自诊断程序。并可调用防止氦气或工艺气体污染的保护性功能。UL1000的通风系统不会干扰通常清洁室中从天花板至地面的空气流动。涡轮分子泵的抽速和压缩比可降低并消除氦污染。 UL1000具有可转动的控制界面,装在仪器商的显示器用十分清楚的大型字体显示测量结果于状态信息,这样可远距离方便地观察读值。 INFICON LDS2000 优点:精确、稳定、高重复性、最小维护、低拥有成本和易使用等。 稳定性 LDS2000是唯一保证离子源灯丝至少可使用三年的检漏仪。INFICON的三年保修期是举世无双的,它的意义远远不只是在灯丝上节省费用。全面的系统监测和优质的灯丝是高在机运行时间、低拥有成本、温度稳定性和长期系统稳定性的基本构成单元。 灵活性 适用于所有测试系统的配置, LDS2000在任何测试条件下都可提供快速和高重复性的结果。许多LDS2000的特点中包含多用性与容易地装入系统。可适配任何安装部位的结构可配置于粗检,精检和吸枪模式。在每个模式中宽的灵敏度范围可使用灵活的测试技术。简易和无需经常的预防性维护(PM)提供将机器配置于最佳性能与组装的灵活性。卓越的线性特性可在不同的漏率要求下对各部件每个漏点进行无需再校准的检漏。 满足要求的多功能通讯 LDS2000装备整套继电器和用于PLC控制的模拟输入与输出,以及用于PC控制的主机数字接口连接件。控制与数据采集可通过模拟I/O,RS232和RS485通讯端口。使用现场总线转换器,可通过公用现场总线协议控制LDS2000。 LDS2000具有许多模拟输出选项。在大多情况下,仪器可适应现有的检漏系统,无需调整PLC中的标度因数。