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地址：江苏昆山衡山路群益民营区１９号

基础技术参数：

型号： FUNCTION 564

n 行程： X轴 500 mm

Y轴 600 mm

Z轴 400 mm

¯ 结构型式：活动桥式

¯ 传动方式：直流伺服系统 + 预载荷高精度空气轴承

¯ 长度测量系统：RENISHAW开放式光栅尺，分辨率为0.5μm

¯ 机台：高精度（00级）花岗岩平台

¯ 使用环境：温度(20±2)℃，湿度55%-65% ，温度梯度1℃/m，温度变化 1℃/h

¯ 空气压力：0.4 MPa - 0.5 Mpa

¯ 空气流量：120 L/min – 140 L/min

¯ 整机尺寸(LWH)：1.2m X 1.4 m X 2.3 m

¯ 机台承重：500 kg ，整机重量：850 Kg

¯ 空间测量精度：（2.80+L/300）μm