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型号 |
GM |
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（X/Y/Z）量测行程 |
200×100×100mm |
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金属台尺寸 |
404*228*mm |
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玻璃台尺寸 |
260*160mm |
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外形尺寸 |
750*520820mm |
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重复性 |
2μm |
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机台承重量 |
30kg |
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量测分辨率 |
0.001mm |
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X/Y/Z轴测量精度 |
(3+L/100)μm |
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光源系统 |
下可调光源 |
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平台结构 |
铸铁机台及立柱 |
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放大倍率 |
光学放大倍率0.65-4.5×,影像放大倍率20×-125× |
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