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FSF-150/600型复合分子泵

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商品信息
FSF-150/600型复合分子泵



应用领域:
 光学玻璃镀膜工业;薄膜工艺;真空冶金;照明工业排气
型号:
    FSF-150/600
规格:
    FSF-150/600
 
 
型号
FSF-150/600
抽气速率(l/s)
600L/S
压缩比N­­­2
>10­­­9
压缩比H­­­2
>8×103
极限压强(Pa)
<2×10-8 
<1×10-7
高真空法兰
LF150
CF150
排气口法兰
KF40
启动加速时(min)
<5min
电机转速(n/min)
24000n/min
最小不平衡(mg)
15mg
建议采用前级泵
机械泵4~8L/S
充油量(ml)
/
安装方式
垂直±5°
冷却方式
水冷或风冷
冷却水温度
<20℃
环境使用温度(℃)
风冷<32℃  水冷<40℃
泵体烘烤温度(℃)
<100℃
泵重量(kg)
30kg
外形尺寸(mm)
Φ280×416