Maxtek石英晶体膜厚控制仪-深圳市利方达科技-北极星电力商务通

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薄膜沉积控制仪利用闭环回路可进行镀膜过程中的沉积速率及膜厚的控制. MDC-360C, MDC-361C 是Maxtek三种型号的薄膜沉积控制仪. MDC-360C 是基本型,前面输入,操作简单, 功能全. MDC-361C是简化黑箱型,无输入键盘, 需通过计算机接口控制。
功能强大
可同时对四个单探头、双探头或多探头连接和控制。可以储存多达99种工艺过程，999种定义膜层和32种完整定义的材料。
使用灵活
有更多的材料及系统参量进行控制，包括多段速率爬升、可编程离散输入/输出及2.5～10 MHz 的感应晶片。
充分的软件支持
Maxtek的DCM软件充分支持MDC-360C膜厚控制仪。它可以简化启动过程、调试过程及微调等复杂过程。它还可以实现工艺过程、系统和运转状态数据的完整存档。
操作简便
可操作的菜单控制界面。具有内置预存储材料库、命名的工艺过程和膜材搭配。
主要测量特性
·频率分辨率在6.0 MHz时0.03 Hz
·质量分辨率 0.375 ng/cm2
·感应晶片频率 2.5, 3, 5, 6, 9.5, 10 MHz
·膜厚显示 0.000～ 999.9 KÅ
·成膜速率 00.0～999 Ang/sec (0~9.99μm/min)
·膜层数量 1～999
·图形显示 256×64 LCD ，CCFL背景照明