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500W国产射频电源

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话: 010-58711816

址: 北京市海淀区永丰产业基地

商品信息

 

由北京吉兆源自行设计开发的固态射频电源,可应用于等离子体清洗、溅射镀膜、PECVD、刻蚀、医疗美容等领域。
具有:
1>高的可靠性和稳定性
2>大屏液晶显示,操作更加直观
3>高效的功率输出   
4>紧凑的结构设计,体积小、重量轻   
5>完善的保护功能:过压、过流、过温、反射功率保护
6>完备的附加功能:脉冲调制、主从模式等
7>标准通讯功能:RS232 RS485 标准MODBUS协议
8>集成匹配器操作功能,使匹配器操作更加灵活方便

 
50W
300W
500W
1000W
输出功率
0-50W
0-300W
0-500W
0-1000W
功率稳定度
≤±0.5%
≤±0.5%
≤±0.5%
≤±0.5%
输出频率
13.56MHz
13.56MHz
13.56MHz
13.56MHz
频率信号
标准正玄波
标准正玄波
标准正玄波
标准正玄波
输入电压
AC180-250V
AC180-250V
AC180-250V
AC180-250V
输入电流
1A
3A
4A
8A
输出阻抗
50Ώ
50Ώ
50Ώ
50Ώ
承受驻波比
>3.0
>3.0
>3.0
>3.0
冷却方式
风冷
风冷
风冷
风冷
通讯口
RS232 RS485
标准Modebus
RS232 RS485
标准Modebus
RS232 RS485
标准Modebus
模拟控制接口
DB15
DB15
DB15
DB15
输出接口
N
N/UHF
N/UHF
N/UHF
尺寸
160(宽)×300(深)×235(高) 
480(宽)×350(深)×89(高) 标准2U
480(宽)×350(深)×89(高) 标准2U
480(宽)×500(深)×89(高) 标准3U
重量
5Kg
8Kg
10.5Kg
15Kg
附加功能
脉冲
脉冲频率
 
10-10KHz
10-10KHz
10-10KHz
占空比
 
1%-99%
1%-99%
1%-99%
主从模式CEX
匹配器控制