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本设备运用于通过在真空高温下熔化金属硅（纯度3N以上），充入工艺气体或反应剂与金属硅中杂质（磷、硼等）化合反应生成易挥发的化合物被真空系统抽走，对金属硅起到精炼作用；精炼后熔融的硅液又被从钳埚底部硅铸锭中心位置向硅铸锭周边和硅铸锭上方向受控下依次缓慢冷却定向凝结，由于硅料中杂质（磷、硼等）在硅液/固相中分凝系数不同，因而杂质在定向凝固过程中向硅铸锭周边和上端不断扩散。定向凝固后的硅铸锭除去浓度高的表层和上端，便制成被提纯了的高纯（纯度6N以上）多晶硅，应用于太阳能光伏电池。是一种革命性的生产工艺和设备
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大型立式超高温真空炉、大型卧式超高温高真空烧结炉、真空脱脂烧结一体炉、真空碳管炉、真空碳/氢还原炉、真空反应烧结炉、真空石墨化炉、高温连续石墨化炉 |
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