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压电平台压电扫描台,3~6维压电纳米定位台 - 研生中国制造

产品型号： P66/P68系列
供应商：辽宁研生科技有限公司
产品品牌：研生科技
关键词：压电扫描台压电平台压电纳米定位
行业类型：电力
设别类型：电力仪器仪表测量仪器

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联系人：研生科技 (来电时请说是从北极星看到我的)

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地址：辽宁激光科技产业园

商品信息

压电扫描台,3~6维压电纳米定位台压电平台 - 研生中国制造技术领先

三至六维纳米级精密定位系统压电纳米定位台 ║P6系列

行程：XYZ500μmθXθYθZ2.5mrad

P66/P68系列是采用压电陶瓷驱动的三至六维并联式纳米级精密压电定位平台，压电平台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构，柔性导向系统具有超高的导向精度，且具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点，压电纳米定位台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，确保了压电平台具有极佳的运动控制精度，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。平台内部采用并联式结构设计，结构紧凑，所有促动器作用在同一个移动台面上，可同时实现多轴运动且每轴具有相同的动态性。对比嵌套式或叠堆式的串联结构，并联结构有着更轻的质量，更低的惯量和更高的动态性。中空式设计，且中央通孔较大，可更好的适用于显微及扫描系统中。

产品特点：

◆ 超大的中空尺寸；

◆ 采用无摩擦、无空回柔性铰链并联导向系统，具有超高的导向精度；

◆ 内置高性能的压电陶瓷，高可靠性；

◆ 内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈，开/闭环可供选择。

产品应用：

扫描显微镜（SPM）　•　干涉　•　计量　•　掩模/晶圆定位　•　度量衡学　•　生物技术　•　显微光学　•　激光技术　•　微操作

辽宁研生科技有限公司

联系人：	研生科技
企业认证：已认证
主营产品：	压电陶瓷，纳米定位，精密，运动，控制，纳米扫描台，压电促动器，纳米定位扫描台，压电陶瓷驱动电源展开全部
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