Advanced Energy 电源系统
作者：深圳市利方达科技时间：2010-05-21 我要发布
关键词:
电源系统
Advanced Energy 是电源产品的全球领先供货商，这些产品用在半导体、平板显示器、数据储存产品、太阳能电池、建筑玻璃和其他先进产品应用等制程中。我们的产品提供：
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无与伦比的功率等离子控制
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无可比拟的 DC 和 RF 电弧处理能力
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尖端匹配技术
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领先、整合和经证实的功率传送解决方案
我们为下列流程设计了电源系统功能：
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RF 清洁
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金属和电介质蚀刻
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感光耐蚀膜抛光
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化学汽相沉沈积 (CVD)
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等离子增强化学汽相沈积沉积 (PECVD)
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物理汽相沈积沉积 (PVD)
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溅射沈积沉积
此外，我们提供 DC 溅射（反应溅射和金属化溅射）、AC 双阴极溅射和 PECVD，以及用于离子束沈积沉积、反应离子束蚀刻 (RIBE) 和尖端等离子仪表应用的设备。
