气体质量流量控制器

热式气体质量流量计（MFM）时一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。热式气体质量流量控制器（MFM）不但具有质量流量计的功能，更重要的时他能自动控制气体流量，即用户可以根据需要进行流量设定，MFC自动的将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动

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气体质量流量控制器SQC-100

概要 气体质量流量控制器（Mass Flow Controller，简称MFC）利用温差量热法原理，可对气体的质量流量进行精密测量和控制。用这种方法测出的气体流量可以忽略温度和压力影响。 本产品采用中华人民共和国电子行业标准SJ/T10583-94以及SJ37所规定的通用技术条件和命名方法。 MFC出厂通常用氮气（

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