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■产品描述三维XYZ轴PS3H30-005U是一个超高性能闭环压电扫描系统。它是AFM、SPM和STM的而设计的应用平台，它结合了超低惯量，具有很高的分辨率反馈，这款扫描系统小而坚固，很容易集成在任何扫描装置内。■产品特性1.采用高性能的压电陶瓷驱动;2.具有开环和闭环两种规格型号;3.采用数控、
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