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■ 产品描述
三维XYZ轴 PS3H30-005U是一个超高性能闭环压电扫描系统。它是AFM、SPM和STM的而设计的应用平台,它结合了超低惯量,具有很高的分辨率反馈,这款扫描系统小而坚固,很容易集成在任何扫描装置内。
■ 产品特性
1.采用高性能的压电陶瓷驱动;
2.具有开环和闭环两种规格型号;
3.采用数控、线切割等加工工艺,严格保证构结精度;
4.采用计算机有限元仿真分析等现代设计方法设计微动结构;
5.采用先进的表面处理工艺,提高了适应不同工作环境的能力;
6.超高性能的开/闭环扫描平台。
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主营产品: |
压电执行机构,高低压促动器,高低压叠堆压电陶瓷,压电驱动电源,压电控制器 |
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