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■ 产品特性
Z向 PFC**-80U为高速压电驱动的显微镜物镜定位 /扫描器件，提供了一个80μm定位和扫描范围，亚纳米级分辨率和非常高的线性度，可靠性高，使用寿命长，安装简单、方便。优异的导向精度 ；适配器使用灵活 ；内置高性能的压电陶瓷 ；开/闭环可供选择，是各种显微镜，精密测量装置，半导体检测装置，高精度曝光，扫描型干涉仪，图像处理装置，或相关生物用装置的最佳选择。
■ 产品描述
Z向 PFC**-80U是采用压电陶瓷驱动的纳米级物镜扫描台，扫描台内部使用无摩擦及空回的柔性铰链导向机构，确保了扫描台极佳的运动精度。扫描台内置精密位移传感器进行全闭环的位置反馈，定位精度、分辨率和稳定性可以达到纳米量级，定位稳定时间仅为毫秒量级。扫描台为无磁材质，使用过程中不产生磁场同时也不受磁场的影响。分立的螺纹适配器，可适配多种型号的物镜。
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压电执行机构，高低压促动器，高低压叠堆压电陶瓷，压电驱动电源，压电控制器 |
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