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主要结构2、2、1真空系统采用KT/TK-150油扩散泵做主抽泵，2XZ-4机械泵做前级泵。机械泵抽气口处有真空电磁充气阀，停电时自动关闭，使系统保持真空状态，并对机械泵放气以防止返油。吸气管路上有两个40蝶阀，一个用于预抽（预抽阀），另一个做前级阀。KT/TK-150油扩散泵上有水冷挡板，以减少油
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