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油扩散泵与机械泵的组合使排气元件获得高真空

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商品信息

 

主要结构

22真空系统采用KT/TK-150油扩散泵做主抽泵,2XZ-4机械泵做前级泵。机械泵抽气口处有真空电磁充气阀,停电时自动关闭,使系统保持真空状态,并对机械泵放气以防止返油。吸气管路上有两个φ40蝶阀,一个用于预抽(预抽阀),另一个做前级阀。

KT/TK-150油扩散泵上有水冷挡板,以减少油蒸汽对真空系统的污染。

水冷挡板上有GI-150高真空挡板阀。

22控制柜面板上,油扩散泵、机械泵均有开停指示灯。真空电磁充气阀与机械泵联动。