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PrismaTM---真空残余气体质谱

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商品信息

 

  PrismaTM---真空残余气体质谱


  型号:QMS200M  参考价格:面议  产地:德国
   技术参数 1.质量数范围 amu 1-100,1-200,1-300
  2.检测器 法拉第/通道倍增器
  3.检测极限 mbar <2*10-11/<10-14
  4.Ar的灵敏度 A/mbar >5*10-4/200
  5.最大工作压强 mbar 1*10-4/1*10-5
  主要特点 1.紧凑--易于和真空系统集成;高灵敏度和高检测极限;视窗软件,功能齐全。
  2.64种常用气体谱图;专门的残余气体分析模块,分压检测;双灯丝。
  3.双路模拟输入和四路模拟输出信号;双路数字输出信号,可外控启动。
  4.快速放大,高动态范围,自动切换电子学零漂。
  5.耐烘烤温度最高达到300℃,90度转角空间节省型可选。
  仪器介绍 广泛适用于研发,高能物理,环境,清洁度检测。
  应用领域:
  真空残余气体分析       超高真空残余气体分析 溅射过程气体分析     蒸发材料气体分析 
  等离子体过程气体分析   在线气体分析         微量夹杂气体分析     呼吸气体分析 
  充气气体成分分析       同位素分析           光学镜片清洁度检测   电子显微镜水分检测
  半导体基片清洁度检测 分析方法 此仪器尚未上传分析方法 相关资料