用 于 监 测 最 新 过 程 的全 功能 气 体 分 析 仪
　　INFICON CPM 小型过程监测器是一台全功能、轻便、高性能气体分析仪，理想地用于现场监测复杂的过程. 其干式抽空系统采用INFICON Transpector 2 气体分析系统的验证技术,并达到新的性能水平
　　CPM 的特点
　　■    用于监测复杂过程的四极气体分析系统.
　　■    允许7 天24 小时连续监测,达到最大的产额和产量, 从而将成本降至最低.
　　■    足够的小型和性能,可安装在压强很高的真空室内.
　　■    HexBlock 取样系统的最佳性能.
　　■    内置CDG, 用于过程压强监测和真空联锁.
　　■    备有可选的校准参考源, 用于调谐和气体参.
　　■    封闭的长寿命离子源可在阻挡大多数腐蚀性和反应性气体的同时,检测亚ppm 量级的污染物.
　　■ 重量轻,易搬运.
　　
　　用户优越性
　　INFICON Transpector CPM 的下列性能可在低成本下实现现场早期报警:
　　■    测量气相反应;
　　■    验证真空的完整性;
　　■    鉴别痕量污染物;
　　■    测量过程与本底的组分;
　　■    定性气体纯度.
　　
　　CPM 良好的适配性
　　空间是可贵的,我们的CPM占空间小,可灵活安装.为对被分析气体影响最小和在宽压强范围内快速提供结果,我们开发了多功能的HexBlock 注入口. 为确保最高的
　　性能与可靠性, 我们采用已在12,000 台以上Transpector 2 气体分析系统上得到验证的四极传感器.为适应某些复杂应用,如刻蚀和CVD 中存在腐蚀性极高的气体, 我们采用化学惰性优等的316 不锈钢加工。
　　
　　全球支持
　　作为半导体市场RGA 产品的领先者, INFICON 具有发展创新与可靠的,增长产量的监测系统资源,加上全球应用网络,需要时可随时随地提供专家支持与协助.
　　
　　技术特点
　　1） 带EM 的NDPP 在10,000 增益和1-秒停留时间下 

　　2 ）质量数40 对41amu 的贡献

　　3 ）零blast 对2amu 的贡献
　　4 ）最小可检浓度,氪在空气中在1-秒停留时间下
　　5 ）低发射下的线性,在0.1 至2 倍常规小孔压强下
　　6 ）使用总压强规管在低发射下的压强调值
　　7 ）低发射下的总压强精度
　　8 ）低发射下离子源最大工作压强(灯丝关断阈值)
　　9 ）在封闭型离子源中2E-4 乇,在四极场范围中将产生约1E-5 乇
　　10） 最小EM 增益在最大EM 电压下
　　
　　尺 寸

　　
　　Instruments for Intelligent Control tm