联系人： 王玉娟 (来电时请说是从北极星看到我的)
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特长
● NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
● 低噪音、低振动
● 优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
● 选购件
可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
◆ 活性气体（CVD、刻蚀等）
◆ 排出非活性气体（溅射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）
◆ 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
◆ 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）
◆ 冷冻干燥等水蒸气排气
| 联系人： | 王玉娟 在线咨询 |
企业认证：
 已认证
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| 主营产品： |
红外线测温仪、照度计、卤素检漏仪、可燃性气体检测仪、一氧化碳/CO检测报警仪、二氧化碳/CO2检测报警仪、氧气/O2检测报警仪、二氧化硫/SO2检测报警仪、氢气/H2检测报警仪、硫化氢/H2S检测报警仪、臭氧/O3检测报警仪、氨气/NH3检测报警仪、氯气/CL2检测报警仪、光气检测仪检测报警仪、二氧化氮/NO2检测报警仪、燃烧效率分析、甲醛检测仪、烟气分析仪噪音仪、风速仪、紫外照度计、红外线测温仪、温度计、温湿度计、风压计、大气采样仪、粉尘采样仪、频闪仪、转速表、测振仪、测厚仪、涂层测厚仪、里氏硬度仪、激光测距仪、金属探测仪、测高仪露点仪、 |
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