UK MICRON OPTOELECTRONICS推出U-III表面粒子计数器:突破0.1微米检测极限,重新定义半导体洁净度标准。
2025年3月6日——全球领先的光电技术企业UK MICRON OPTOELECTRONICS正式发布全新升级的U-III表面粒子计数器。该产品专为高洁净度制造场景设计,采用革命性激光传感技术与智能采样系统,可精准检测0.1微米级表面颗粒污染,助力半导体、液晶面板及精密电子行业实现更高良率与可靠性。
核心技术创新
纳米级检测能力
U-III搭载HeNe激光传感器,分辨率达0.1微米,支持0.1-5.0微米颗粒粒径的六通道分类统计(0.1/0.2/0.3/1.0/3.0/5.0μm),覆盖半导体制造中对超细微粒的严苛检测需求。
静态采样模式:通过优化气流控制,减少测量误差,提升数据稳定性。
智能化设计与操作体验
7英寸高分辨率触控屏:支持实时数据可视化与交互操作,简化流程。
双电池热插拔系统:支持连续生产场景下的不间断作业,电池更换无需停机。
USB数据接口与软件升级:便捷导出检测报告,并可通过固件更新持续优化性能。
行业应用与效益
提升制造效率
减少50%自净时间:通过量化表面污染数据,缩短设备维护周期(PM周期),提升产线吞吐量。
延长MTBC(平均无故障周期):结合颗粒控制策略,关键设备可靠性提升4倍以上。
覆盖高洁净场景
半导体制造:晶圆表面、机台内腔等关键区域的洁净度验证。
精密光学与电子:液晶面板、光学镜片组件、医疗器械的表面污染控制
测量粒径:A 0.3um、2.5um、10um;
B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um;
C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um;
D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um;
E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um;
F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;
粒径分布误差:≤±30%
浓度示值误差:≤±30%
重复相对偏差:≤±10%FS
重叠误差:当每立方英尺2,000,000个粒子时小于5%
气体检测:可同时检测气体浓度,支持1-3个各种类型的气体传感器
温度范围:-40 ~ 120℃
检定标准:计数报告符合GB/T16292-1996及ISO14644-1标准或GB/T6167-2007 JJF1190-2008
气泵流速:2.83L/min,28.3L/min(可选);
采样时间:3、6、9、12、15、30、60秒(可选);
检测模式:数量模式;质量模式; 净效模式;三种检测模式可切换
检测方式:定时检测、循环检测可设置
报警方式:自定义数量报警值、质量报警值
限值报警:RS485信号报警或外接声光报警器
法 规 性:权限管控、审计追踪、电子记录等
合 规 性:符合ISO 21501-4,CE,JIS B9921
合 规 性:符合21 CFR Part 11
通讯接口:RS232、R485、LAN-USB
存储模式:实时存储、定时存储可设置;可存储数据无限制
打印模式:可选配微型打印机打印数据
工作温度:5 ~ 45℃
工作电源:AC 100-240V, 50 Hz/60 Hz
工作湿度:≤90%RH,无冷凝