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英微米晶圆表面颗粒计数器U-III

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商品信息

 UK MICRON OPTOELECTRONICS的表面粒子检测器系列通过以下技术实现电子半导体行业表面污染的量化监测和控制:

核心技术原理
界面颗粒再悬浮技术‌:采用先进界面技术,通过物理或气流方式将附着在关键表面的颗粒重新悬浮,便于后续检测。
高精度光学检测:基于激光光学传感器和光散射原理,实时捕获悬浮粒子的散射光信号,实现单个粒子尺寸的精确分析。
U-III表面粒子计数器。该产品专为高洁净度制造场景设计,采用革命性激光传感技术与智能采样系统,可精准检测0.1微米级表面颗粒污染,助力半导体、液晶面板及精密电子行业实现更高良率与可靠性。
核心技术创新
纳米级检测能力
U-III搭载HeNe激光传感器,分辨率达0.1微米,支持0.1-5.0微米颗粒粒径的六通道分类统计(0.1/0.2/0.3/1.0/3.0/5.0μm),覆盖半导体制造中对超细微粒的严苛检测需求。
静态采样模式:通过优化气流控制,减少测量误差,提升数据稳定性。
智能化设计与操作体验
7英寸高分辨率触控屏:支持实时数据可视化与交互操作,简化流程。
双电池热插拔系统‌:支持连续生产场景下的不间断作业,电池更换无需停机。
USB数据接口与软件升级‌:便捷导出检测报告,并可通过固件更新持续优化性能。
行业应用与效益
提升制造效率
减少50%自净时间‌:通过量化表面污染数据,缩短设备维护周期(PM周期),提升产线吞吐量。
延长MTBC(平均无故障周期):结合颗粒控制策略,关键设备可靠性提升4倍以上。
覆盖高洁净场景
半导体制造:晶圆表面、机台内腔等关键区域的洁净度验证。
精密光学与电子:液晶面板、光学镜片组件、医疗器械的表面污染控制。
符合国际标准
产品严格遵循ISO-14644-9表面粒子控制规范,为全球半导体厂商提供标准化检测工具。