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英微米液晶面板表面微粒分析仪

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商品信息

 U-III搭载HeNe激光传感器,分辨率达0.1微米,支持0.1-5.0微米颗粒粒径的六通道分类统计(0.1/0.2/0.3/1.0/3.0/5.0μm),覆盖半导体制造中对超细微粒的严苛检测需求。

静态采样模式:通过优化气流控制,减少测量误差,提升数据稳定性。
智能化设计与操作体验
7英寸高分辨率触控屏:支持实时数据可视化与交互操作,简化流程。
双电池热插拔系统‌:支持连续生产场景下的不间断作业,电池更换无需停机。
USB数据接口与软件升级‌:便捷导出检测报告,并可通过固件更新持续优化性能。
行业应用与效益
提升制造效率
减少50%自净时间‌:通过量化表面污染数据,缩短设备维护周期(PM周期),提升产线吞吐量。
延长MTBC(平均无故障周期):结合颗粒控制策略,关键设备可靠性提升4倍以上。
覆盖高洁净场景
半导体制造:晶圆表面、机台内腔等关键区域的洁净度验证。
精密光学与电子:液晶面板、光学镜片组件、医疗器械的表面污染控制。
符合国际标准
产品严格遵循ISO-14644-9表面粒子控制规范,为全球半导体厂商提供标准化检测工具。
该系列设备通过量化表面污染数据,为半导体制造中的过程控制提供标准化依据,从而优化生产良率和产品可靠性。
传感器:第七代双激光窄光检测器,寿命>200000次
测量粒径:A 0.3um、2.5um、10um;
          B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um;
          C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um;
          D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um;
          E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um;
          F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;
粒径分布误差:≤±30%
浓度示值误差:≤±30%
重复相对偏差:≤±10%FS
重叠误差:当每立方英尺2,000,000个粒子时小于5%
气体检测:可同时检测气体浓度,支持1-3个各种类型的气体传感器
温度范围:-40 ~ 120℃
检定标准:计数报告符合GB/T16292-1996及ISO14644-1标准或GB/T6167-2007 JJF1190-2008

供应商档案

英微米光电(武汉)有限公司
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主营产品:

新材料技术研发,电子专用材料研发,技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广,软件开发,智能仪器仪表制造,实验分析仪器销售,智能仪器仪表销售,软件销售,仪器仪表修理,货物进出口,技术进出口。

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